経済産業大臣賞

原子サイズレベルの計測精度を実現する寸法検査装置「ＣＧ７３００」の開発

受賞者 人見　敬一郎　：他６名
所属企業等 株式会社日立製作所　：他１団体
所在 東京都国分寺市

案件概要

  • 　最先端の半導体チップでは、ナノメートル級の大きさの素子が用いられている。この素子を製造するために必要な原子サイズレベル（０.１nm）の製造管理を実現するため、電子顕微鏡を応用した高分解能寸法検査装置「ＣＧ７３００」を開発し、世界最高水準の検査技術を確立した。
    　ＣＧ７３００では、電子ビームの制御レンズに新材料を導入することで、ナノメートル級素子の寸法検査に必要な精度を達成した。さらに、ビーム形状を可視化することで、実用上残る装置毎の誤差を従来機種比で10%向上（機差0.1nm以下レベル）する技術を開発した。
リストへ