素材機能の維持と高品位微細加工を両立するピコ秒ハイブリッドレーザー技術の開発
受賞者
折井 庸亮 :他6名
所属企業等
スペクトロニクス株式会社
所在
大阪府吹田市
案件概要
独自の設計思想と超低ノイズ/超高利得光増幅器の実現により「ピコ秒ハイブリッドレーザー技術」を開発。
微細加工には最適だが、最も長寿命化が困難と言われた深紫外線(λ=266nm)域においても、15ピコ秒(ピコは1×10
-12
)パルスレーザーを出力10Wで連続出力10,000時間以上という圧倒的世界記録を達成
し、信頼性の高さを証明。
次世代エレクトロニクス/自動車産業で需要が急伸する半導体、CFRP等の
素材機能を損なわない高品質細加工を実現し、後工程/環境負荷の削減により大幅なコスト削減にも貢献。
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