経済産業大臣賞

磁気シールドの常識を覆す性能を発揮した「Mudelta metal®」の開発

受賞者 榊原　満　：他3名
所属企業等 株式会社オータマ
所在 神奈川県川崎市

案件概要

  • 　半導体製造、医療検査装置は微弱な磁気ノイズにさえ影響されるため、磁気シールド技術は必要不可欠となっている。この分野の磁気シールド技術は、一般的にパーマロイが使用され、JISで規定されている透磁率「ミューアイ」で評価されてきたが、先端科学分野では不十分であり、独自に新たな指標である透磁率「ミューデルタ」を定め、計測方法を確立。さらにミューデルタを向上させる熱処理技術を開発することで、微弱な磁気ノイズにも適した材料「Mudelta metal®」を完成させた。ナノレベルでの半導体製造装置向けでは、世界市場の占有率も高く、波及効果が大きい。
リストへ